半導體產業

新虎將提供高精度CNC線性馬達及滾珠螺桿傳動系列產品,應用在半導體先進製程設備之探針卡模組及微細孔位等加工,加工精度可達±0.002mm。晶圓製造設備,離子植入機耗材(純鎢、鉬、鈀等加工),產品脆邊性低、刀具磨耗小等優點,結合機台高剛性,創造完美的半導體產業解決方案。

半導純鎢體零件加工
  • 材料材料:WU MO
  • 適合機型:GT-66V
  • 加工精度:0.02mm

難切削材特殊純鎢鉬加工

使用門型高剛性高速加工中心機進行半導體零件加工,可減少刀具磨耗,提升表面品質,精度佳。

半導體零件超薄型連接環
  • 加工材料:6061-T6
  • 加工轉速:250 rpm
  • 適合機型:GT-ML800

直徑350mm厚度200mm 側邊薄壁切削,特殊夾持車削加工方式,機台剛性表現優異,減少薄壁顫震情形,車削表面光順,精度為0.03mm內。

半導體設備散熱蓋
  • 加工材料:SUS316
  • 加工轉速:2500 rpm
  • 適合機型:GT-ML800

加工特點:薄件3600孔鑽孔,五軸工件,使用ML800高剛性的45度頭做多角度擺軸加工,精度、品質及鑽孔穩定性佳。